特許

J-GLOBAL ID：200903028521748114

溝付研磨パッド

発明者： 小池 尚生 ,  今内 敏夫
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159839
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349053
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】CMP法によるウエハ表面の研磨速度をより速くする。【解決手段】研磨パッドとして研磨面に溝を有する発泡シートを使用し、その研磨面部に存在する気泡の平均直径を1μm以上150μm以下とする。研磨パッドの研磨面の表面粗さを、JIS-B0601に規定された表面粗さで0.5μm以上15μm以下とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも研磨面部は発泡プラスチックで形成され、研磨面に溝を有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、研磨面の表面粗さがJIS-B0601に規定された表面粗さで0.5μm以上15μm以下であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 621 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 621 D ,  B24B 37/00 C

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17