特許
J-GLOBAL ID：200903028522333783
粘性流れによる有機発光ダイオードデバイスの層の付着方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 小林 良博
, 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-329683
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119380
出願日： 2003年09月22日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】 OLEDディスプレイの有機層をカラーピクセル化する方法を提供する。【解決手段】 OLEDディスプレイ基板の上に有機層をパターン状に付着させる方法であって、減圧されたチャンバ内にマニホールドとOLEDディスプレイ基板とを互いに間隔を置いて設置し、該マニホールドの一表面を封止的に被覆する構造体であって、該構造体を貫通し該マニホールド内に延びる複数のノズルを含む構造体を設置し、該マニホールド内に有機材料蒸気を送り込み、そして該マニホールド内に加圧下の不活性ガスを加えるに際し、該不活性ガスが該ノズルの各々を通る粘性ガス流を提供し、該粘性ガス流が、該有機材料蒸気の少なくとも一部を該マニホールドから該ノズルを通して輸送することにより該不活性ガスと該有機材料蒸気との方向付けられたビームを提供し、かつ、該方向付けられたビームを該OLEDディスプレイ基板上に投射することにより該基板上にパターン状の有機層を付着させるようにすることを特徴とする方法。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
有機発光ダイオード(OLED)ディスプレイ基板の上に有機層をパターン状に付着させる方法であって、
a)減圧されたチャンバ内にマニホールドとOLEDディスプレイ基板とを互いに間隔を置いて設置し、
b)該マニホールドの一表面を封止的に被覆する構造体であって、該構造体を貫通し該マニホールド内に延びる複数のノズルであって該OLEDディスプレイ基板上に付着されるべきパターンに対応して互いに間隔を置いて並べられたノズルを含む構造体を設置し、
c)該構造体の該ノズルに対して該OLEDディスプレイ基板を配向させ、
d)該マニホールド内に有機材料蒸気を送り込み、そして
e)該マニホールド内に加圧下の不活性ガスを加えるに際し、該不活性ガスが該ノズルの各々を通る粘性ガス流を提供し、該粘性ガス流が、該有機材料蒸気の少なくとも一部を該マニホールドから該ノズルを通して輸送することにより該不活性ガスと該有機材料蒸気との方向付けられたビームを提供し、かつ、該方向付けられたビームを該OLEDディスプレイ基板上に投射することにより該基板上にパターン状の有機層を付着させるようにすることを特徴とする方法。
IPC (4件)：
H05B33/10
, C23C14/24
, H05B33/12
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/24 Z
, H05B33/12 B
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029BA62
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA00
