特許
J-GLOBAL ID：200903028526474209
対向する被加工物間の相互位置決め方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-013285
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234331
出願日： 1995年01月04日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 2個の被加工物間の精密な位置決め方法の提供。【構成】 2個の被加工物のうちの1個の被加工物の表面20が、物理的に係合可能な表面形状を欠く場合にこれら2個の被加工物を機械的に係合させる方法が開示される。他方の被加工物100と係合させるための機械的接触点を得るために、アダプタ22が結晶学的エッチング手法によって形成され、直接に係合可能な物理的外形部分を欠く上記被加工物の表面20に精密に位置させられてマウントされる。被加工物の表面20上とアダプタ22の表面上とに写真製版的金属被覆処理によってはんだ点が形成される。それからアダプタ22が、高度に精密な位置決めのために、被加工物の表面20上にはんだバンプマウントされる。アダプタ22は、他方の被加工物100の物理的外形部分12と機械的に係合するための精密に位置決めされた接触点を形成する。
請求項（抜粋）：
第1の被加工物の或る表面の物理的外形部分を第2の被加工物の或る表面に位置合わせしそれにより直接に物理的に係合可能な表面を欠くこれら第1及び第2の被加工物を係合させることによって、望む物理的位置決め状態にこれら第1及び第2の被加工物を位置させる、対向する被加工物間の相互位置決め方法であって、(a)前記第1の被加工物の前記物理的外形部分と機械的に係合可能な物理的外形部分を定義する第1のアダプタ表面と、前記第2の被加工物の前記表面上にマウントするために構成された第2のアダプタ表面とを有するアダプタを形成するステップと、(b)前記アダプタが前記第2の被加工物の前記表面上にマウントされたときに、前記望む物理的位置決めを設立するために、予め選択された接触点において前記第1の被加工物の前記物理的外形部分に機械的に係合するために構成された前記第2の被加工物の前記表面に或る物理的外形部分を定義するように、前記アダプタをマウント状態で受けるために前記第2の被加工物の前記表面上にマウント領域を定義するステップと、(c)前記第2の被加工物上の前記マウント領域の少なくとも1箇所と前記第2のアダプタ表面の少なくとも1箇所とを、これらの箇所の各々に少なくとも1個のはんだ付け可能点を定義するために選択的に金属被覆するステップと、(d)前記第2のアダプタ表面上の前記はんだ付け可能点が前記第2の被加工物の前記マウント領域上の前記はんだ付け可能点と近接対向関係にある位置に配置されるように、前記アダプタと前記第2の被加工物とを相対的に位置させるステップと、(e)前記第2の被加工物の前記表面を前記第1の被加工物の前記物理的外形部分に係合させることによって前記望む物理的位置決めが得られるように前記アダプタを前記第2の被加工物の前記表面に固定状態でマウントするために前記ステップ(d)において位置決めされたはんだ付け可能点を相互一体にはんだ付けすることによって、前記アダプタを前記第2の被加工物の前記表面にはんだバンプをマウントするステップと、からなることを特徴とする、対向する被加工物間の相互位置決め方法。
IPC (3件)：
G02B 6/24
, H01L 33/00
, H05K 13/04
