特許

J-GLOBAL ID：200903028533642222

マイクロレゾネータ及びその製造方法並びに電子機器

発明者： 中島 卓哉
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-117714
公開番号（公開出願番号）：特開2005-303706
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】 広い周波数帯域に亘った所望の通過特性を有するマイクロレゾネータ及びその製造方法、並びに当該マイクロレゾネータを備える電子機器を提供する。【解決手段】 マイクロレゾネータ10は、電極16と電極18との間に、異なる共振モードで共振するディスク14を備えた構成である。ディスク14は、電極16,18に沿う方向(X方向)に位置変化を生じて共振する共振モードと、X方向に伸縮する形状変化を生じて共振する共振モードとの2つの共振モードで共振する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板と、当該シリコン基板上に形成された少なくとも絶縁膜を含む積層部と、当該積層部上に設けられた共振子及び電極とを備えるマイクロレゾネータであって、 前記共振子として前記電極に印加される電気信号によって異なる種類の複数の共振モードで共振する共振子を備えることを特徴とするマイクロレゾネータ。

IPC (4件)：

H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H03H3/007

FI (4件)：

H03H9/24 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H03H3/007 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第5025346号明細書
  
• 米国特許第5537083号明細書
  
• 米国特許第6628177号明細書