特許

J-GLOBAL ID：200903028538618885

薄膜作製装置

発明者： 蒲生 美香 ,  今井 伸彦
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-068490
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271932
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】【目的】フレキシブルプラスチックフィルムの基板に、金属や酸化物薄膜を成膜して食品包材フィルム、光選択透過性フィルム等を製造する際、トラムラインやしわのない薄膜形成を可能とする薄膜作製装置を提供する。【構成】真空室10内に、回転する円筒状キャン11と成膜粒子発生源12、フレキシブルプラスチックフィルム15を走行する走行系、該フレキシブルプラスチックフィルムを巻き出す巻き出しロールおよび巻き取りロールを備えた薄膜作製装置において、該巻き出しロールと該円筒状キャンとの間に、回転する円筒状予備冷却ロール16を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空室内に、回転する円筒状キャンと成膜粒子発生源、フレキシブルプラスチックフィルムを走行する走行系、該フレキシブルプラスチックフィルムを巻き出す巻き出しロールおよび巻き取りロールを備えた薄膜作製装置において、該巻き出しロールと該円筒状キャンとの間に、回転する円筒状予備冷却ロールを設けたことを特徴とする薄膜作製装置。