特許
J-GLOBAL ID：200903028542281682
走査型プローブ顕微鏡及び該走査型プローブ顕微鏡を用いた吸着力測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329645
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170525
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】長時間の吸着力測定に於いても探針変位検出センサ及び機械的なドリフトによる影響を受けることなく、常にセンサレベル中心位置付近での測定を行って、長時間の安定した吸着力測定を行うこと。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡は、試料18表面を走査しながらマイクロコンピュータ11が凹凸及びフォースカーブを測定する。この測定によって得られたフォースカーブのデータに基いて、試料18表面の吸着力、引力をマイクロコンピュータ11及びホストコンピュータ12で算出し、それらの量の空間分布を画像化する。探針19の位置は、探針微動アクチュエータ20で微動制御される。マイクロコンピュータ11は、荷重値設定用基準レベルをモニタし、探針微動アクチュエータ20への印加電圧等を予測する。
請求項（抜粋）：
探針と、この探針を支持する支持部材と、上記探針を3次元方向に移動させる探針移動手段と、上記探針に対向して配置される試料を保持する試料載置台と、この試料載置台を3次元方向に移動する試料移動手段と、上記探針と上記試料との間に働く力の変化を光学的に検出する検出手段と、この検出手段で検出される上記探針と上記試料との間に働く力に基く変化とは異なる変化に対する制御を行う制御手段とを有し、上記制御手段の制御に基き上記検出手段を検出に適した状態に保つことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
