特許
J-GLOBAL ID：200903028545499450
走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002050
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200574
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 煩雑な作業を必要とせずに、絞り板7に付着した汚染物質の除去を可能にし、しかも絞り板7に汚染物質がつきにくくする。【解決手段】 微細加工パターンが形成された半導体のウエハーなどの被観察物11に対し電子ビーム13を照射する電子銃1と、絞り手段3と、光学手段2と、電圧印加手段4とを含んでいる。絞り手段3は、電子ビーム13の径を絞る絞り穴9を有する絞り板7と、セラミックからなり絞り板7よりも厚く絞り穴9と対向する穴部10を有し絞り板7の被観察物11側の面に積層されている厚板8とを有する。電圧印加手段4は、絞り板7に高電圧を印加してフラッシングを行なうものである。光学手段2は、絞り手段3の前段に位置するコンデンサーレンズ5と、絞り手段3の後段に位置する対物レンズ6とを含む。
請求項（抜粋）：
電子ビームを照射する電子銃と、前記電子ビームの径を絞る絞り手段と、前記電子ビームを被観察物に集束させる光学手段とを含む走査型電子顕微鏡において、前記絞り手段が、前記電子ビームの径を絞る絞り穴を有する絞り板と、該絞り板に積層され前記絞り穴と対向する穴部を有する厚板とを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/09
, H01J 37/248
, H01L 21/66
H01J 37/09 A
, H01J 37/248 Z
, H01L 21/66 C
4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DB05
, 4M106DB18
, 5C033BB01
, 5C033BB07
, 5C033BB08
