特許
J-GLOBAL ID：200903028554190500
研磨方法及び研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208984
公開番号（公開出願番号）：特開2001-030159
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：
【要約】【課題】 定盤の有効幅に対して対角方向の寸法が80%以上の大きさの板ガラスでも、高い平坦性を得ることができる研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】 本発明の装置は、上定盤1の板ガラスに接する表面1aに、複数の研磨材供給孔1cが、円周方向に分散配置され、かつ円周方向に隣り合う研磨材供給孔1cとその半径方向の位置が互いに異なるように配置されている。本発明の研磨方法は、板ガラスを保持孔に嵌合保持したキャリヤを回転する上定盤と下定盤の間に挟み、上定盤1に設けられ複数の研磨材供給孔1cから上定盤1と下定盤の間に研磨材を供給しながらキャリヤを自転させつつ公転させて板ガラスの表面を研磨する。
請求項（抜粋）：
板ガラスを保持孔に嵌合保持したキャリヤを回転する上定盤と下定盤の間に挟み、少なくとも上定盤に設けられ円周方向に分散配置された複数の研磨材供給孔から上定盤と下定盤の間に研磨材を供給しながら該キャリヤを自転させつつ公転させて板ガラスの表面を研磨する研磨方法において、円周方向に隣り合うもの同士の半径方向の位置が異なるように配置した研磨材供給孔に研磨材を供給することを特徴とする研磨方法。
Fターム (10件)：
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA14
, 3C058AB08
, 3C058AC04
, 3C058BB03
, 3C058CA01
, 3C058CB01
, 3C058DA06
, 3C058DA09
