電子部品実装基板外観検査装置における物体認識方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-175820
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026313
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】段差照明式外観検査装置において、複数の画像を基に、検査対象物の位置検査を容易にかつ正確に実行することを目的とする。【解決手段】段差照明式外観検査装置を用い、下記の画像処理を順に実行する。(1)検査対象に対する分散値の2次元分布を作成する処理(2)検査対象物を抽出するための2値化処理などの画像処理(3)抽出した対象物に対する良否検査を実行する処理

請求項（抜粋）：

投光角度が異なる複数組の光源と、該光源による検査対象物からの反射光を受光し、かつ輝度分布画像として出力する受光センサとを有する電子部品実装基板の外観検査装置において、該照明光を切り替えながら投光して、該受光センサより得られる画像に対して、検査対象物の同一位置に対する複数画像の輝度の分散を求め、該分散を平面画像として生成することを特徴とする画像処理方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/24 F , G01N 21/88 F , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 B , G06F 15/64 325 G

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