特許
J-GLOBAL ID：200903028563681010
薄板支持容器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
工藤 宣幸
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1998000489
公開番号（公開出願番号）：WO1999-039994
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月12日
要約：
【要約】本発明は、容器本体2と、容器本体2で半導体ウエハを両側から支持する薄板支持部3とを備えた薄板支持容器1である。蓋体4と、蓋体4を容易に着脱し得る簡易着脱機構31とを備え、簡易着脱機構31を、蓋体4の周縁部に設けられた蓋体係止爪32と、容器本体2側に設けられ、蓋体係止爪32が嵌合して蓋体4を容器本体2に固定する被嵌合部28と、蓋体係止爪32を被嵌合部28から離脱させる腕部34と、腕部34で蓋体係止爪32を離脱させたときに蓋体4を容器本体2から僅かに持ち上げる持上げ機構とから構成した。薄板支持部3、トップフランジ5、持ち運び用ハンドル6は着脱自在に設けた。薄板支持部3にはV字型溝38を設けた。積層しやすくするため、足部18と足部受け部30を設けた。これにより、蓋体4の取り付け及び取り外し作業並びに全体の洗浄作業を容易にする。
請求項（抜粋）：
内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された薄板を両側から支持する薄板支持部とを備えてなる薄板支持容器において、 前記容器本体を塞ぐ蓋体と、この蓋体を前記容器本体に対して容易に着脱し得る簡易着脱機構とを備え、 前記簡易着脱機構が、 前記蓋体の周縁部に設けられた係止用嵌合部と、 前記容器本体側に前記係止用嵌合部に対向して設けられ、この係止用嵌合部が嵌合して蓋体が容器本体に固定される被嵌合部と、 前記蓋体側の係止用嵌合部に一体的に取り付けられ、押し下げられることで係止用嵌合部を前記被嵌合部から離脱させる腕部と、 この腕部で係止用嵌合部を被嵌合部から離脱させたときに前記蓋体を前記容器本体から僅かに持ち上げる持上げ機構とから構成されたことを特徴とする薄板支持容器。
IPC (4件)：
B65D 85/38
, B65D 43/04
, B65D 21/02
, H01L 21/68
