特許
J-GLOBAL ID：200903028568016413
三軸力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059981
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258082
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 可撓薄板を有する三軸力センサにおいて、部品点数が多いため、組付け作業が煩雑で、しかも、組付け精度が低下する不具合があった。【解決手段】 複数の電極からなる電極部7を形成した配線基板5と、導電性材料からなり電極部7に間隙17を有して配設される可撓薄板31と、間隙17を形成するために、可撓薄板31と配線基板5との間に介装されるスペーサ33と、配線基板5からスペーサ33及び可撓薄板31を貫通したネジ15に螺合して可撓薄板31を配線基板5に固定する固定板35と、可撓薄板31の上面に下端面を接合した円柱状のレバー39とを具備した三軸力センサ51であって、可撓薄板31に、スペーサ33、固定板35、及びレバー39を一体に形成した。
請求項（抜粋）：
複数の電極からなる電極部を形成した配線基板と、導電性材料からなり前記電極部に間隙を有して配設される可撓薄板と、前記間隙を形成するために該可撓薄板と前記配線基板との間に介装されるスペーサと、前記配線基板から前記スペーサ及び前記可撓薄板を貫通したネジに螺合して前記可撓薄板を前記配線基板に固定する固定板と、前記可撓薄板の上面に下端面を接合した棒状のレバーとを具備した三軸力センサであって、前記可撓薄板に、前記スペーサ、前記固定板、及び前記レバーを一体に形成したことを特徴とする三軸力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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