特許

J-GLOBAL ID：200903028590613131

配線基板の製造方法

発明者： 伊藤 達也
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 奥田 誠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324968
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 樹脂絶縁層と、これを貫通しメッキにより充填形成されたフィルドビアと、これらの上にメッキにより形成された導体層とを有する配線基板において、導体層の厚さがほぼ均一な配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 配線基板1の製造方法は、フィルドビア用メッキ液により第1電解Cuメッキ層35を形成する工程と、第1電解Cuメッキ層35を薄くする工程と、その上にメッキレジスト層41を形成する工程と、コンフォーマルメッキにより第2電解Cuメッキ層37を形成する工程と、その上にガード金属層45を形成する工程と、メッキレジスト層41を除去する工程と、不要なメッキ層をエッチング除去する工程と、ガード金属層45を除去する工程とを備える。

請求項（抜粋）：

樹脂絶縁層と、上記樹脂絶縁層を貫通する貫通孔内にメッキで充填形成されたフィルドビアと、上記樹脂絶縁層及びフィルドビア上にメッキで形成された所定パターンの導体層と、を備える配線基板の製造方法であって、上記貫通孔を有する樹脂絶縁層、並びに、上記貫通孔内及び上記樹脂絶縁層上に形成された無電解メッキ層、を備える基板のうち、上記無電解メッキ層上に、孔を含む部分にメッキをしたときに孔外よりも孔内でメッキが成長する第1メッキ液により電解メッキを施し、上記貫通孔をメッキで充填して上記フィルドビアを形成すると共に、このフィルドビア上及び上記樹脂絶縁層の無電解メッキ層上の略全面に、第1電解メッキ層を形成する第1電解メッキ工程と、上記第1電解メッキ層を薄くする第1電解メッキ層薄化工程と、薄くされた上記第1電解メッキ層上に、所定パターンのメッキレジスト層を形成するメッキレジスト層形成工程と、上記メッキレジスト層から露出する上記第1電解メッキ層上に、孔を含む部分にメッキをしたときに孔内と同程度以上に孔外でメッキが成長する第2メッキ液により電解メッキを施し、所定パターンの第2電解メッキ層を形成する第2電解メッキ工程と、上記第2電解メッキ層上に、所定パターンのガード金属層を形成するガード金属層形成工程と、上記メッキレジスト層を除去するメッキレジスト層除去工程と、上記ガード金属層を溶解しないエッチング液を用いて、露出した上記第1電解メッキ層及びその下の上記無電解メッキ層をエッチング除去するパターンニング工程と、上記ガード金属層を除去し、上記第2電解メッキ層と第1電解メッキ層と無電解メッキ層とからなる上記所定パターンの導体層を形成するガード金属層除去工程と、を備える配線基板の製造方法。

IPC (7件)：

H05K 3/18 ,  C25D 7/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/38 ,  H05K 3/42 620 ,  H05K 3/46

FI (9件)：

H05K 3/18 H ,  C25D 7/00 J ,  H05K 3/06 D ,  H05K 3/06 K ,  H05K 3/28 B ,  H05K 3/38 B ,  H05K 3/42 620 B ,  H05K 3/46 B ,  H05K 3/46 N

Fターム (85件)：

4K024BB11 ,  5E314AA24 ,  5E314BB01 ,  5E314CC01 ,  5E314FF01 ,  5E314GG11 ,  5E314GG12 ,  5E317AA24 ,  5E317BB02 ,  5E317BB12 ,  5E317CC32 ,  5E317CC33 ,  5E317CD15 ,  5E317CD23 ,  5E317CD25 ,  5E317CD27 ,  5E317CD32 ,  5E317GG01 ,  5E317GG03 ,  5E317GG09 ,  5E339AB02 ,  5E339AC01 ,  5E339AD03 ,  5E339AD05 ,  5E339AE01 ,  5E339BC02 ,  5E339BD02 ,  5E339BD03 ,  5E339BD08 ,  5E339BE13 ,  5E339CD05 ,  5E339CE17 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB17 ,  5E343BB24 ,  5E343BB52 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343DD33 ,  5E343DD43 ,  5E343DD76 ,  5E343EE52 ,  5E343ER11 ,  5E343ER12 ,  5E343ER18 ,  5E343GG01 ,  5E343GG04 ,  5E343GG06 ,  5E343GG08 ,  5E346AA06 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA32 ,  5E346AA43 ,  5E346AA51 ,  5E346BB15 ,  5E346CC32 ,  5E346CC54 ,  5E346CC55 ,  5E346CC58 ,  5E346DD23 ,  5E346DD24 ,  5E346DD32 ,  5E346DD33 ,  5E346DD47 ,  5E346DD48 ,  5E346EE06 ,  5E346EE18 ,  5E346EE19 ,  5E346EE33 ,  5E346EE38 ,  5E346FF13 ,  5E346FF14 ,  5E346GG15 ,  5E346GG17 ,  5E346GG18 ,  5E346GG22 ,  5E346GG23 ,  5E346GG27 ,  5E346GG28 ,  5E346HH11 ,  5E346HH25 ,  5E346HH26 ,  5E346HH31