特許
J-GLOBAL ID:200903028594202780
フィルタ及びその製造方法,清浄装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩原 康司 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-224348
公開番号(公開出願番号):特開平11-019436
出願日: 1997年08月05日
公開日(公表日): 1999年01月26日
要約:
【要約】【課題】 防災に優れ,かつ湿度の低下が無く,さらにフィルタ自身からのガス状有機不純物の脱離がなく,しかも処理対象空気中に含まれる微量のガス状有機不純物を除去して同有機物による基板などの表面汚染を防止できるフィルタを提供することにある。【解決手段】 支持体12の表面に,雰囲気中のガス状有機不純物を除去するためのゼオライトを,ガス状有機不純物を吸着する性質を有し,かつ該ゼオライトの有効細孔径よりも大きな有効細孔径を有する無機物をバインダとして用いて固着させて吸着層を形成したことを特徴とするフィルタである。
請求項(抜粋):
支持体の表面に,雰囲気中のガス状有機不純物を除去するためのゼオライトを,ガス状有機不純物を吸着する性質を有し,かつ該ゼオライトの有効細孔径よりも大きな有効細孔径を有する無機物をバインダとして用いて固着させて吸着層を形成したことを特徴とするフィルタ。
IPC (2件):
FI (2件):
B01D 39/20 Z
, B01D 39/00 B
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭58-124539
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特開昭61-155216
審査官引用 (2件)
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特開昭58-124539
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特開昭61-155216
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