特許
J-GLOBAL ID：200903028601176758
積層セラミック基板および積層セラミック基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福井 宏司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-283266
公開番号（公開出願番号）：特開2009-111239
出願日： 2007年10月31日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：
【課題】積層されたグリーンシート毎のビアホールの数の差を原因とするグリーンシート毎の収縮率の差を小さくすることにより反りを抑制された積層セラミック基板を供給する。【解決手段】ビアホール2を設けた複数のセラミックグリーンシート1を積層し、焼成することにより形成される積層セラミックス基板において、複数のセラミックグリーンシート1の各々におけるセラミックグリーンシート1全体に対するビアホール2の体積占有率が、略等しい。ビアホール2の体積占有率はビアホール2の径dをセラミックグリーンシート1ごとに変えることで調整されている。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
ビアホールを設けた複数のセラミックグリーンシートを積層し、焼成することにより形成される積層セラミックス基板において、
前記複数のセラミックグリーンシートの各々におけるセラミックグリーンシート全体に対するビアホールの体積占有率が、略等しいことを特徴とする積層セラミック基板。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
5E346AA12
, 5E346AA43
, 5E346CC18
, 5E346CC31
, 5E346CC39
, 5E346DD34
, 5E346EE27
, 5E346EE29
, 5E346GG04
, 5E346GG15
, 5E346HH11
