特許

J-GLOBAL ID：200903028601253264

液体材料塗布装置、基板の封止装置、並びにそれらの装置を用いた基板の製造装置及び方法

発明者： 玉城 仁 ,  岩瀬 祐一 ,  鬼島 靖典
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-030443
公開番号（公開出願番号）：特開2002-233806
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板又は張り合わせ材に対して細部に到るまで均一に精度よく、かつ効率的に液体材料を塗布できる液体材料塗布装置、基板と張り合わせ材を気泡の混入や空気溜まりの発生を確実に防止しながら封止できる基板の封止装置、並びに張り合わせ材を全面ベタ張り封止した良品質の基板を効率よく製造できる基板の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】 液体材料を基板21又は張り合わせ材22の所定位置に塗布する液体材料塗布装置であって、円筒ノズル及びスリットノズルからなる塗布ノズルを少なくとも1組以上具備し、前記液体材料を内部に保持するシリンジ5、6、7と、前記シリンジ5、6、7を互いに直交するX、Y、Z軸方向に移動する3軸移動手段8と、前記基板21又は張り合わせ材22のZ軸方向における位置を検出する検出手段と、前記基板21又は張り合わせ材22をZ軸方向に移動する移動手段23とを備えた液体材料塗布装置。

請求項（抜粋）：

液体材料を基板又は張り合わせ材の所定位置に塗布する液体材料塗布装置であって、円筒ノズル及びスリットノズルからなる塗布ノズルを少なくとも1組以上具備し、前記液体材料を内部に保持するシリンジと、前記シリンジを互いに直交するX、Y、Z軸方向に移動する3軸移動手段と、前記基板又は張り合わせ材のZ軸方向における位置を検出する検出手段と、前記基板又は張り合わせ材をZ軸方向に移動する移動手段とを備えたことを特徴とする液体材料塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 9/08 ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B29C 65/48

FI (4件)：

B05C 9/08 ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B29C 65/48

Fターム (21件)：

4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA24 ,  4F041BA38 ,  4F041CA02 ,  4F041CA18 ,  4F041CB41 ,  4F042AA07 ,  4F042BA08 ,  4F042BA25 ,  4F042DB41 ,  4F211AH36 ,  4F211AH37 ,  4F211TA03 ,  4F211TA13 ,  4F211TC02 ,  4F211TD11 ,  4F211TJ30 ,  4F211TN45 ,  4F211TQ04 ,  4F211TQ13