特許

J-GLOBAL ID：200903028604104502

ゲッター物質の組み合わせ及びそれを収容する装置

発明者： パオロ・マニニ ,  クラウディオ・ボッフィト
出願人/特許権者： サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-216878
公開番号（公開出願番号）：特開平9-047652
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 約200°Cよりも高い温度では加熱されることができない装置において真空を維持するのに特に好適なゲッター物質の組み合わせを提供する。【解決手段】 (a)酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合物から選択される遷移金属酸化物MOと金属パラジウムとのMO/Pd混合物であって、約2重量%までの金属パラジウムを含有するMO/Pd混合物と、(b)室温において1Paよりも低いH2 O蒸気圧を有する水分収着性物質とから構成する。特定の用途では、この組み合わせにバリウム-及びリチウム基合金、好ましくはBaLi4 を添加することも可能である。

請求項（抜粋）：

・酸化コバルト、酸化銅又はそれらの混合物から選択される遷移金属酸化物MOと金属パラジウムとのMO/Pd混合物であって、約2重量%までの金属パラジウムを含有するMO/Pd混合物と、・室温において1Paよりも低いH2 O蒸気圧を有する水分収着性物質と、よりなるゲッター物質の組み合わせ。

IPC (2件)：

B01J 20/06 ,  H01J 7/18

FI (2件)：

B01J 20/06 B ,  H01J 7/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-313317
  
• 特開昭52-065762