特許

J-GLOBAL ID：200903028607414618

走査型トンネル顕微鏡、その探針、その探針の処理方法及び微細構造物作製方法

発明者： 青野 正和 ,  中山 知信 ,  寺部 一弥
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  理化学研究所
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999006385
公開番号（公開出願番号）：WO2000-070325
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2000年11月23日
要約：

【要約】連続的な微細構造物を容易に構築することができる走査型トンネル顕微鏡、その探針、その探針の処理方法及び微細構造物作製方法を提供する。イオン導電性と電子導電性とを兼ね備えたAg2S単結晶の走査型トンネル顕微鏡の探針(2)を用意し、その探針(2)と基板(3)の間に電圧とトンネル電流(6)を加えることにより、前記Agイオンを移動させ、前記探針(2)の先端にそのAgイオン又はAg原子から構成される突起物(ミニチップ)を成長させ、前記突起物の成長後、加えられる電圧極性を反対にすることにより成長した前記突起物を構成するAgイオン又はAg原子をAg2S単結晶中に再溶解させて前記突起物を収縮させ、整形された前記Agイオン又はAg原子からなる突起物を有する探針(2)を形成する。また、混合導電体材料の可動イオンあるいは混合導電体材料を構成する原子を、基板上に付与して、この基板上に微細構造物を形成する。

請求項（抜粋）：

走査型トンネル顕微鏡において、 イオン導電性と電子導電性とを兼ね備えた混合導電体材料からなる走査型トンネル顕微鏡の探針を具備することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/34 ,  G12B 21/04

FI (3件)：

G01N 13/12 A ,  G01B 7/34 Z ,  G12B 1/00 601 B