特許
J-GLOBAL ID:200903028616704130

熱交換システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-186533
公開番号(公開出願番号):特開平11-030467
出願日: 1997年07月11日
公開日(公表日): 1999年02月02日
要約:
【要約】【課題】流体循環システムの圧力変動を抑制して、これによるキャビテーションなどの様々な悪影響を未然に防止する。【解決手段】熱媒体用液体2を用いて温度制御を行う被温度制御系1と、この被温度制御系1から排出された熱媒体用液体2の温度を調整し温度調整した熱媒体用液体2を前記被温度制御系1に供給する熱交換器3と、これら被温度制御系1と熱交換器3との間で前記熱媒体用液体2を循環させる循環ポンプ10と、前記被温度制御系1、熱交換器3及び循環ポンプ10間を連結して前記熱媒体用液体2を循環させる熱媒体用配管6,8とを備えた熱交換システムにおいて、前記熱媒体用液体2の循環経路を外気に対し隔絶された閉鎖系とすると共に、前記熱媒体用液体2の圧力変動を吸収する圧力吸収手段11を前記熱媒体の循環経路内に配設するようにしたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
熱媒体用液体を用いて温度制御を行う被温度制御系と、この被温度制御系から排出された熱媒体用液体の温度を調整し温度調整した熱媒体用液体を前記被温度制御系に供給する熱交換器と、前記被温度制御系と熱交換器との間で前記熱媒体用液体を循環させる循環ポンプと、前記被温度制御系、熱交換器及び循環ポンプ間を連結して前記熱媒体用液体を循環させる熱媒体用配管とを備えた熱交換システムにおいて、前記熱媒体用液体の循環経路を外気に対し隔絶された閉鎖系とすると共に、前記熱媒体用液体の圧力変動を吸収する圧力吸収手段を前記熱媒体の循環経路内に配設するようにしたことを特徴とする熱交換システム。
IPC (3件):
F25D 9/00 ,  F28F 27/00 511 ,  H01L 21/205
FI (3件):
F25D 9/00 B ,  F28F 27/00 511 Z ,  H01L 21/205

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