特許
J-GLOBAL ID：200903028620810018
環境制御型走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333399
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172496
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 環境制御型走査型電子顕微鏡の試料室内の温度を制御して、その温度における飽和水蒸気圧程度の真空度を保つことにより、含水試料をあるがままの状態で観察できる装置を提供する。【解決手段】 環境制御型走査型電子顕微鏡の試料室6の内壁に、液体循環パイプ7を設けて、恒温水循環装置8によって温度制御された水を液体循環パイプ7に供給し循環させる。
請求項（抜粋）：
1次電子線を発生させる電子銃を収納する電子銃室と、低真空のガス雰囲気中に、試料を保持する試料ホルダー及び2次電子を検出する2次電子検出器を収納する試料室と、を備えた環境制御型走査型電子顕微鏡において、前記試料室の内壁に、前記試料室内を恒温に保持するための液体循環パイプを設けたことを特徴とする環境制御型走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 B
, H01J 37/20 E
