特許

J-GLOBAL ID：200903028625037708

プリアライメント装置及びプリアライメント方法

発明者： 松原 寿人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162405
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325309
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、プリアライメント装置及びプリアライメント方法において、簡易な構成で、感光基板に損傷が生じることを防止し得るようにする。【解決手段】感光基板が載置されるプレートステージと、プレートステージを所望の方向に傾斜させるプレートステージ傾斜手段とを設け、またプレートステージの載置面上にプリアライメント基準位置として基準ピンを設け、さらにプレートステージの傾斜方向を制御して感光基板を基準ピンの方向に滑らせて当接させることで位置合わせを行う制御手段を設けるようにした。プレートステージの傾斜によつて感光基板を滑らせて基準ピンに当接させることで位置合わせするようにしたことにより、感光基板の自重を用いて位置合わせすることができ、複雑な構成を設けること無く感光基板を位置合わせし得ると共に感光基板に過剰な力が加わることを防止できる。

請求項（抜粋）：

矩形形状の感光基板に露光処理を施す前に、該感光基板を所定の露光位置にプリアライメントするプリアライメント装置において、前記感光基板が載置されるプレートステージと、前記プレートステージの載置面上にプリアライメント基準位置として設けられた基準ピンと、前記プレートステージを所望の方向に傾斜させるプレートステージ傾斜手段と、前記プレートステージ傾斜手段を制御して前記プレートステージを前記基準ピンの方向に傾斜させて前記感光基板を滑らせることにより、該感光基板を前記基準ピンに当接させて位置合わせを行う制御手段とを具えることを特徴とするプリアライメント装置。

IPC (7件)：

G02F 1/13 101 ,  B23Q 3/18 ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

G02F 1/13 101 ,  B23Q 3/18 Z ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 9/00 H ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/30 520 A