透明導電膜成膜装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234025
公開番号（公開出願番号）：特開2002-049047
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】配向膜のラビング処理工程におけるラビング布へ透明導電膜片の付着による着色を防止し、ラビング工程の歩留まりを向上させることが可能な透明導電膜成膜装置を提供する。【解決手段】透明基板上に少なくとも遮光層、有機着色層、オーバーコート層および透明導電膜を形成するとともに、該透明導電膜のパターン化を行うためのマスクを有する成膜装置において、該マスクが、厚み0.8mm以下であるか、もしくは該マスクの基板と接する側の面から厚み0.8mm以上の箇所が水平方向から30 ゚以下のテーパー角を形成したものであることを特徴とする透明導電膜成膜装置。

請求項（抜粋）：

透明基板上に少なくとも遮光層、有機着色層、オーバーコート層および透明導電膜を形成するとともに、該透明導電膜のパターン化を行うためのマスクを有する成膜装置において、該マスクが、厚み0.8mm以下であるか、もしくは該マスクの基板と接する側の面から厚み0.8mm以上の箇所が水平方向から30 ゚以下のテーパー角を形成したものであることを特徴とする透明導電膜成膜装置。

IPC (9件)：

G02F 1/1343 , B32B 7/02 104 , C23C 14/04 , C23C 14/08 , G02B 1/10 , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , H01B 13/00 503 , H01B 13/00

FI (9件)：

G02F 1/1343 , B32B 7/02 104 , C23C 14/04 A , C23C 14/08 D , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , H01B 13/00 503 B , H01B 13/00 503 D , G02B 1/10 Z

Fターム (78件)：

2H048BA45 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BB01 , 2H048BB08 , 2H048BB14 , 2H048BB37 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088HA03 , 2H088HA04 , 2H088HA12 , 2H088HA14 , 2H088MA20 , 2H092HA04 , 2H092MA05 , 2H092MA35 , 2H092NA17 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA01 , 2H092PA02 , 2H092PA08 , 2H092PA09 , 2K009CC03 , 2K009DD04 , 2K009EE03 , 4F100AA28E , 4F100AA33E , 4F100AA37H , 4F100AG00 , 4F100AK01C , 4F100AK21D , 4F100AK25D , 4F100AK36D , 4F100AK46D , 4F100AK50D , 4F100AK51D , 4F100AK53D , 4F100AL05D , 4F100AR00A , 4F100AR00B , 4F100AR00C , 4F100AR00E , 4F100AS00D , 4F100BA05 , 4F100BA10A , 4F100BA10E , 4F100CA13 , 4F100CA13C , 4F100EH461 , 4F100EH662 , 4F100EJ983 , 4F100GB41 , 4F100JG01E , 4F100JL10C , 4F100JN01A , 4F100JN01E , 4F100JN02B , 4K029AA09 , 4K029BA50 , 4K029BB03 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DC04 , 4K029DC05 , 4K029EA08 , 4K029GA01 , 4K029HA02 , 4K029HA03 , 5G323BA01 , 5G323BA02 , 5G323BB05 , 5G323CA05

前のページに戻る