特許

J-GLOBAL ID：200903028643422481

半導体加速度センサー装置

発明者： 加藤 肇
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069696
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267959
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 オフセットドリフトが小さく、他軸感度誤差の小さい半導体加速度センサー装置を提供する。【解決手段】 薄肉部と厚肉部を有し該薄肉部の表面にゲージ抵抗が形成された半導体加速度センサーチップを備え、該半導体加速度センサーチップがベース基板上に台座を介して、上記薄肉部が変形可能となるように片側で支持されてなる半導体加速度センサー装置であって、該台座を、互いに大きさの異なる少なくとも2つの層がスクリーン印刷によって積層形成することにより、該台座の上面を平坦にした。

請求項（抜粋）：

薄肉部と厚肉部を有し該薄肉部の表面にゲージ抵抗が形成された半導体加速度センサーチップを備え、該半導体加速度センサーチップがベース基板上に台座を介して、上記薄肉部が変形可能となるように片側で支持されてなる半導体加速度センサー装置であって、該台座が、互いに大きさの異なる少なくとも2つの層がスクリーン印刷によって積層形成されたことを特徴とする半導体加速度センサー装置。