特許
J-GLOBAL ID：200903028644960550
欠陥検出装置及び欠陥検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271285
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 超音波トランスデューサを簡単に制御し、被検体の形状が幾何学的に対称な場合には迅速に欠陥を検出する。【解決手段】 開示される欠陥検出装置は、CPU28が、2軸ロボット5,6を制御し、エリアの第n番目のポジションに移動させた超音波トランスデューサ4aから超音波パルスを発射し被検体からの反射波を第m番目のポジションに移動させた超音波トランスデューサ4bにより受信して得た64×64個のエコー信号Sm,n(t)をフーリエ変換して得た64×64個のエコー信号Sm,n(ω)に関する方程式を成立させる実数値λ,関数φ(ω)を算出し、関数φ(ω)から得た音場の関数φ(ω,x,y,z)を逆フーリエ変換して得た関数φ(t,x,y,z)に対応した電気パルス信号をエリア内のN個の位置にある超音波トランスデューサ4bに印加したと想定した際の音場の関数φ'u(x,y,z)を求め、音場の関数φ'u(x,y,z),実数値λに基づき被検体を画像化する。
請求項（抜粋）：
超音波パルスを被検体に向けて送信し、被検体から得られる反射波に基づいて被検体の欠陥を検出する欠陥検出装置において、2次元のエリア内で任意に移動可能であり、供給される電気パルス信号に基づいて超音波パルスを液体弾性媒体中の被検体に向かって送信すると共に、前記被検体からの反射波を受信するための2個の超音波変換要素と、前記2個の超音波変換要素を前記エリア内の任意の位置に移動させる移動手段と、前記移動手段を制御して、一方の超音波変換要素を前記エリア内に所定間隔で設定したN個(Nは2以上の自然数)の位置のうち、第n番目(n=1,2,......,N)の位置に移動させると共に、他方の超音波変換要素を前記エリア内の第m番目(m=1,2,......,N)の位置に移動させ、前記一方の超音波変換要素に所定周波数範囲内の電気パルス信号を供給して超音波パルスを送信させ、それに基づく前記被検体からの反射波を前記他方の超音波変換要素に受信させる処理を、前記2個の超音波変換要素を前記エリア内のN個の位置にそれぞれ移動させて行うことにより前記他方の超音波変換要素から出力される(N×N)個のエコー信号Sm,n(t)を検出するエコー信号検出手段と、前記(N×N)個のエコー信号Sm,n(t)を(N×N)個のエコー信号Sm,n(ω)にフーリエ変換するフーリエ変換手段と、前記(N×N)個のエコー信号Sm,n(ω)に関する式(1)の方程式を成立させる実数値λのうち、絶対値の大きい方から数えて、単数又は複数の実数値λを求めると共に、前記単数又は複数の実数値λに対応する単数又は複数の関数φ(ω)を算出する算出手段と、前記所定周波数範囲に対応する角周波数範囲及び前記エリア内のN個の位置に移動させた前記他方の超音波変換要素について、前記単数又は複数の実数値λに対応する単数又は複数の関数φ(ω)から音場の関数φ(ω,x,y,z)を求め、前記音場の関数φ(ω,x,y,z)を逆フーリエ変換して得られた関数φ(t,x,y,z)に対応した電気パルス信号を前記エリア内のN個の位置に移動させた前記超音波変換要素に印加したと想定した場合の時間t=0での音場の関数φ'u(x,y,z)を求め、該音場の関数φ'u(x,y,z)及び前記単数又は複数の実数値λに基づいて前記被検体を画像化して表示する画像化処理手段とを備えてなることを特徴とする欠陥検出装置。【数1】式(1)において、φ*m(ω)はφm(ω)の複素共役、φn(ω)は規格化されている。
IPC (2件)：
G01N 29/10
, G01N 29/22 501
G01N 29/10
, G01N 29/22 501
