特許

J-GLOBAL ID：200903028652222967

圧力センサ

発明者： 奥村 雅之
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132882
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 伝達媒体が筒本体の筒側壁から剥離せず、半導体圧力センサチップに圧力を正しく伝達できる圧力センサを提供する。【解決手段】 流体の圧力を測定する半導体圧力センサチップが設けられたセンサ部1と、筒側壁21及び内部スペース22を有して筒状に形成された筒本体2と、センサ部1の反対側へ位置する受圧面31を有して、半導体圧力センサチップに接触するとともに筒本体2の筒側壁21に粘着した状態で内部スペース22に充填されて圧力を伝達する伝達媒体3とを備え、受圧面31に負荷された圧力を伝達媒体3を介して測定する圧力センサにおいて、伝達媒体3が筒本体2の中心軸方向へ移動する移動抵抗を増大させるリング状突起23は、筒本体2に設けられた構成にしてある。

請求項（抜粋）：

流体の圧力を測定する半導体圧力センサチップが設けられたセンサ部と、筒側壁及び内部スペースを有して筒状に形成された筒本体と、センサ部の反対側へ位置する受圧面を有して、半導体圧力センサチップに接触するとともに筒本体の筒側壁に粘着した状態で内部スペースに充填されて圧力を伝達する伝達媒体とを備え、受圧面に負荷された圧力を伝達媒体を介して測定する圧力センサにおいて、伝達媒体が筒本体の中心軸方向へ移動する移動抵抗を増大させる移動抵抗増大手段は、筒本体に設けられたことを特徴とする圧力センサ。