特許
J-GLOBAL ID：200903028657170949

炭素複合材料

発明者：
高木 俊

高木 俊 について

, 
野呂 匡志

野呂 匡志 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 安富 康男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-039675
公開番号（公開出願番号）：特開2004-084057
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】高温、かつ、還元性ガスや反応性ガス雰囲気下で、長時間使用された場合であっても消耗等に起因するクラックや剥離等の損傷が生じることがなく、耐久性に優れた炭素複合材料を提供すること。【解決手段】炭素基材と前記炭素基材の表面に形成された炭化タンタル層とからなる炭素複合材料であって、前記炭化タンタル層を構成する結晶のX線回折による分析で、(200)面に相当するピークと(111)面に相当するピークとのピーク強度比:I(200)/I(111)が、0.2〜0.5であるか、又は、(111)面に相当するピークと(200)面に相当するピークとのピーク強度比:I(111)/I(200)が、0.2〜0.5であることを特徴とする炭素複合材料。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
炭素基材と前記炭素基材の表面に形成された炭化タンタル層とからなる炭素複合材料であって、 前記炭化タンタル層を構成する結晶のX線回折による分析で、(200)面に相当するピークと(111)面に相当するピークとのピーク強度比:I(200)/I(111)が、0.2〜0.5であるか、又は、 (111)面に相当するピークと(200)面に相当するピークとのピーク強度比:I(111)/I(200)が、0.2〜0.5であることを特徴とする炭素複合材料。
IPC (3件)：
C23C16/32 ,  C04B41/87 ,  H01L21/205
FI (3件)：
C23C16/32 ,  C04B41/87 G ,  H01L21/205
Fターム (9件)：
4K030BA17 ,  4K030BA36 ,  4K030CA01 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  5F045AA03 ,  5F045BB10 ,  5F045EM02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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