特許

J-GLOBAL ID：200903028661484737

熱処理用ボート

発明者： 山本 久男 ,  太田黒 進 ,  坂上 吉信
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 椎名 正利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-127700
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308021
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】 大径のウェハの熱処理時にウェハに損失を与えることの少ない熱処理用ボートの提供。【解決手段】 ウェハ支持部7の左右端部7cと支持基部7a間の角度は100〜140度である。左右端部7cと支持基部7aはウェハ9の外周より内側に存在し、ウェハ9を3点で保持することになるため安定している。左右端部7cと支持基部7aは突設されており、ウェハ9との間には隙間が形成されるため、熱分布が生ずるおそれは極めて小さい。

請求項（抜粋）：

天板と底板間に固定された支柱と、該支柱により保持され、該支柱に対し直角に複数の円形板状の被処理体を等間隔に載置する被処理体載置手段を備える熱処理用ボートにおいて、前記被処理体載置手段は、前記被処理体の抜き差し方向であって、かつ前記被処理体の中心を通る線上の該中心より所定距離隔てた位置に頭部が所定面積の平滑面となるよう突設され、該頭部により前記被処理体を載置する中央突設部と、該中央突設部から前記中心回り左右に100度以上140度未満の角度を隔て、前記中心より所定距離隔てた位置に頭部が所定面積の平滑面となるよう左右対象に突設され、該頭部により前記被処理体を載置する左右突設部を有することを特徴とする熱処理用ボート。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/22 511 G ,  C23C 16/44 F ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N

Fターム (17件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030DA09 ,  4K030GA13 ,  4K030KA46 ,  5F031CA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA62 ,  5F031HA65 ,  5F031MA30 ,  5F031PA11 ,  5F045AA03 ,  5F045AA20 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EM09