特許
J-GLOBAL ID：200903028674994874
光デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136351
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347665
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 光導波路が形成された基板上に光部品及び電子デバイスを搭載する光デバイスについて、段差プロセスを無くすことで、光部品と光導波路との光学的高効率結合を可能にさせ、かつ電子デバイスの電気配線、並びにパッドなどの形成も含めて全ての製造工程が基板スケールでの量産製造を可能とさせることにより、低コストな光デバイスの製造方法を与える。【構成】 光ファイバ3及び半導体光素子8などの光部品とSi基板1上に形成された光導波路2が光学的に結合し、光ファイバ3及び半導体素子8などの光部品を位置決め固定するためのV溝形成用マスクパターン12や位置合わせマーカ9b、光導波路2の光軸を設定する位置合わせマーカ9a、電極パッド10、並びに電気配線11を、光導波路2を形成する前にSi基板1に形成する。
請求項（抜粋）：
光ファイバ及び半導体光素子などの光部品と基板上に形成された光導波路とが前記基板上で光学的に結合し、かつ前記光部品が前記基板上に固定された光デバイスの製造方法において、前記光部品を位置決め固定するためのマーカ、前記光導波路の光軸を設定するためのマーカ、溝形成用マスクパターン、前記光部品用及び電子デバイス用の電気配線、並びにパッドを、前記光導波路を形成する前に前記基板に形成することを特徴とする光デバイスの製造方法。
引用特許：
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