特許

J-GLOBAL ID：200903028678600358

顕微鏡装置

発明者： 米澤 康男 ,  福田 由美子 ,  藤野 健
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269619
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095001
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 簡便な構成で、従来の顕微鏡像に加え試料面の広視野な像をも観察、撮影でき、しかもケーラー照明を維持しながら広視野な像への合焦を行う。【構成】 顕微鏡装置において、結像光学系の光路に対して第1対物レンズを退避可能に位置させる手段と、第1対物レンズよりも大きな焦点距離を有し、正・負・正の3群で構成され、第1対物レンズが光路から退避した際に第1対物レンズによって照明光が導かれる被検面とは異なる位置の第2の被検面からの光を光路上の第2対物レンズに導いて所定位置に第2の被検面の像を形成する第3の対物レンズとを設け、照明光学系を、光路内に配置された前記第1対物レンズまたは第3対物レンズの照明光学系側焦点位置に光源像を形成するように構成し、第1及び第2レンズ群を一体的に光軸方向へ移動させて第2の被検面への合焦を行う。

請求項（抜粋）：

被検面を照明するための照明光学系と、前記被検面からの光を集光して平行光束を形成する第1対物レンズおよび該第1対物レンズを介した平行光束を結像して前記被検面の像を所定位置に形成する第2対物レンズを有する結像光学系とを備えた顕微鏡装置において、前記結像光学系の光路に対して前記第1対物レンズを退避可能に位置させる挿脱手段と、前記第1対物レンズよりも長い焦点距離を有し、前記第1対物レンズが前記光路から退避した際に前記被検面とは異なる位置の第2の被検面からの光を平行光束に変換して、該平行光束を前記第2対物レンズに導いて前記所定位置に前記第2の被検面の像を形成する第3の対物レンズとを設け、前記照明光学系は、前記第1対物レンズが前記光路内に位置する際には、前記第1対物レンズの照明光学系側の焦点位置に光源像を形成し、前記第3の対物レンズが前記光路内に位置する際には、前記第3の対物レンズの照明光学系側の焦点位置に光源像を形成し、前記第3の対物レンズは、前記第2の被検面側から順に、正の屈折力の第1レンズ群と、負の屈折力野第2レンズ群と、正の屈折力の第3レンズ群とを有し、前記第1レンズ群から入射する平行光束に対して前記第1レンズ群と第2レンズ群とはアフォーカル系を形成し、前記第3レンズ群から入射する平行光束に対して前記第2レンズ群と第3レンズ群とはアフォーカル系を形成し、前記第1及び第2レンズ群を一体的に光軸方向へ移動させることにより前記第2の被検面への合焦を行うことを特徴とする顕微鏡装置。