特許

J-GLOBAL ID：200903028686248515

走査型探針装置

発明者： 鴨志田 典弘
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334131
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162114
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】複数の試料あるいは複数箇所の表面測定や表面加工、または表面処理を一括して同時に行なうことが可能な走査型探針装置を提供すること。【解決手段】試料を載置するステージと、前記試料の表面に対向配置される探針と、該探針を微動走査する微動走査装置と、該微動走査装置を保持するホルダと、該ホルダを駆動する駆動装置とから構成して成る走査型探針装置において、前記微動走査装置を複数台とし、且つ該微動走査装置に取り付けられ前記ステージに載置される試料と対向する探針を複数本とし、該複数本の探針がそれぞれ同時に且つ独立に走査可能なように構成したことにある。

請求項（抜粋）：

試料を載置するステージと、前記試料の表面に対向配置される探針と、該探針を微動走査する微動走査装置と、該微動走査装置を保持するホルダと、該ホルダを駆動する駆動装置とから構成して成る走査型探針装置において、前記微動走査装置を複数台とし、且つ該微動走査装置に取り付けられ前記ステージに載置される試料と対向する探針を複数本とし、該複数本の探針がそれぞれ同時に、且つ独立に走査可能なように構成して成ることを特徴とする走査型探針装置。

IPC (2件)：

G01N 13/12 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 B ,  G01B 21/30 Z

Fターム (22件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG35 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG58 ,  2F069GG66 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM17 ,  2F069NN11 ,  2F069PP02