特許
J-GLOBAL ID：200903028687491820
マスフローコントローラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295324
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134764
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】流量、圧力、温度を基準として基準のバルブ電圧を算出し、実際のバルブ電圧と比較する事によりマスフローコントローラーの使用状態を把握し、マスフローコントローラーが原因となる故障を未然に防止する。【構成】バルブ5のIN側に圧力センサA.1,OUT側に圧力センサB.13を備え又、マスフローコントローラー本体に温度センサ14を備えている。以上のセンサ信号を増幅回路7より出力された流量信号を基準に、減算回路9,バルブ電圧演算回路10,温度補正回路11を通して基準のバルブ電圧を出力する。実際のバルブ電圧と前記基準のバルブ電圧を比較する事により使用中のマスフローコントローラーの状態を把握出来る。
請求項（抜粋）：
ガス流量を測定する流量センサと、ガス流量を調整するバルブと、該バルブを制御する基板とを有して構成され外部の流量設定信号に従ってガス流量を制御するマスフローコントローラーにおいて、マスフローコントローラー本体に、周囲の温度を測定する温度センサと、前記バルブにかかるガス圧力を測定する為の2個の圧力センサと、前記センサの信号を基準に演算を行う減算回路と、バルブ電圧と演算する演算回路と、温度補正回路とを内蔵し、圧力、流量、温度を基準とした基準バルブ電圧を外部へ出力する事を特徴とするマスフローコントローラー。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
