特許

J-GLOBAL ID：200903028690264185

クリーンルーム設備

発明者： 三宅 進一郎 ,  芝 利昭 ,  大平 宏
出願人/特許権者： 株式会社大氣社
代理人 (1件)： 北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256027
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101050
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 空気循環に要するファン能力の低減を図る。【解決手段】 空気吸入して、この吸入空気を清浄域1に供給するファン5と、この供給空気を浄化するフィルタ5bとを備えるファンフィルタユニット5を、清浄域1の天井部に設け、清浄域1から域内空気を排出して、この排出空気をファン5aの吸入対象としてファンフィルタユニット5に導く還気経路7,8,4を設け、ファンフィルタユニット5、清浄域1、還気経路7,8,4にわたって循環させる空気を温度調整する温調器11aを設けるクリーンルーム設備において、温調器11aとして、板状形状の板面部を空気に対する熱交換面部Aとするパネル状温調器を採用し、このパネル状温調器11aを還気経路7,8,4の途中において、循環空気の流れ方向に熱交換面部Aが沿う姿勢で配置する。

請求項（抜粋）：

空気吸入して、この吸入空気を清浄域(1)に供給するファン(5)と、この供給空気を浄化するフィルタ(5b)とを備えるファンフィルタユニット(5)を、前記清浄域(1)の天井部に設け、前記清浄域(1)から域内空気を排出して、この排出空気を前記ファン(5a)の吸入対象として前記ファンフィルタユニット(5)に導く還気経路(7,8,4)を設け、前記ファンフィルタユニット(5)、前記清浄域(1)、前記還気経路(7,8,4)にわたって循環させる空気を温度調整する温調器(11a)を設けたクリーンルーム設備であって、前記温調器(11a)として、板状形状で、その板面部を空気に対する熱交換面部(A)とするパネル状温調器を採用し、このパネル状温調器(11a)を前記還気経路(7,8,4)の途中において、循環空気の流れ方向に前記熱交換面部(A)が沿う姿勢で配置してあるクリーンルーム設備。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ,  F28F 3/00 301

FI (2件)：

F24F 7/06 C ,  F28F 3/00 301 Z