特許
J-GLOBAL ID：200903028692085806
光学式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173250
公開番号（公開出願番号）：特開平6-018292
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】 トールボット干渉型の光学式エンコーダにおいて、信号のひずみによる測定誤差を極力発生させないようにした光学式エンコーダを提供する。【構成】 光束の垂直横モ-ドがスケ-ルとしての回折格子の移動方向に対して垂直な方向になるように該半導体レ-ザを設置するようにしている。または光源からの光束を制限する絞りがあり、その絞りの開口形状が、スケ-ルとしての回折格子の移動方向に対して水平な方向の径は、該スケ-ルとしての回折格子の移動方向と垂直な方向の径と同じか、または、短いように設定している。これにより信号の暗側の歪みを低減し、信号処理におけるコンパレートレベルを振幅中心に配置でき、結果として誤差発生を防止できる。
請求項（抜粋）：
光源からの光束をスケールとしての回折格子に入射させ、該スケールとしての回折光からトールボット干渉原理に基づいて発生する干渉縞を前記スケールとしての回折格子の対向位置にある回折格子に投影させ、該対向位置の回折格子からの光束を検出して前記スケールとしての回折格子の変位情報を得るエンコーダにおいて、前記光源は半導体レーザであり、その光束の垂直横モードが前記スケールとしての回折格子の移動方向に対して垂直な方向になるように該半導体レーザを設置するようにしたことを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (3件)：
G01D 5/36
, G01D 5/26
, G01D 5/38
