特許

J-GLOBAL ID：200903028693733968

ウェーハ移動装置

発明者： ファウルク,リチャード・エフ ,  ロード,スティーブン・エム
出願人/特許権者： プロコニクス・インターナショナル・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312767
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048575
出願日： 1983年05月18日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウェーハの表面に汚れがつかないようにして、ウェーハをプラスチック・ボートから(ウェーハを拡散炉に導入する)クオルツ・ボートに、あるいはその逆の移動を迅速に行う。【構成】 夫々、ウェーハ(11)の中心よりウェーハの縁の近くに配置された少なくとも2つの開口(154)を形成してあるウェーハ・ピック・アップ素子と、ウェーハを前記ウェーハ・ピック・アップ面に吸着させるため前記開口に大気圧より低圧又は真空を与える装置と、より成り、ピック・アップ素子に対するウェーハの縁の位置がずれないようにしてウェーハをピック・アップできるようにする。

請求項（抜粋）：

夫々、ウェーハ(11)の中心よりウェーハの縁の近くに配置された少なくとも2つの開口(154)を形成してあるウェーハ・ピック・アップ素子と、ウェーハを前記ウェーハ・ピック・アップ面に吸着させるため前記開口に大気圧より低圧又は真空を与える装置と、より成り、ピック・アップ素子に対するウェーハの縁の位置がずれないようにしてウェーハをピック・アップできるようにしたことを特徴とするウェーハ移動装置。

IPC (4件)：

B65G 61/00 ,  B25J 15/06 ,  B25J 19/04 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-034775
  
• 特開昭56-102842
  
• 特開昭52-074756