透明板状物体の形状の測定方法および測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩壁冬樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023787
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211429
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】裏面形状の影響を受けずに表面形状を測定し、表面形状の影響を受けずに裏面形状を測定したい。【解決手段】照射光が被測定物を透過して得られる透過画像と反射して得られる反射画像とを入力し、両画像の光強度の和および差を被測定物の裏面形状および表面形状の凹凸を表す信号とする。

請求項（抜粋）：

透明性を有する板状の被測定物の表面形状または裏面形状を測定する方法であって、前記被測定物を透過した光束による透過像の光強度と、前記被測定物で反射された光束による反射像の光強度とを得て、前記透過像の光強度と前記反射像の光強度との和または差を算出することを特徴とする透明板状物体の形状の測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 11/30 101

FI (2件)：

G01B 11/24 A , G01B 11/30 101 A

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