特許

J-GLOBAL ID：200903028693935749

試料採取、調製装置と組み合わせた自動ESR測定システム

発明者： 渡辺 孝司
出願人/特許権者： 日機装株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-248913
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062271
出願日： 2000年08月18日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】 製造プロセスからの試料の採取からデータ処理までの一連の操作を自動的に行うことのでき、試料採取及び移送時の危険性がなく、短時間で、測定誤差が少なく、省力化されたESR測定を行うことのできるESRシステムを提供することを目的とする。【解決手段】 試料を採取し、試料調製部に採取した試料を移送する試料採取部と、前記試料採取部から移送された試料の調製を行い、ESR測定部に調製した試料移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料採取部、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有する自動オンラインESR測定システム。

請求項（抜粋）：

採取された試料の調製を行い、調製した試料をESR測定部に移送する試料調製部と、調製した試料の電子スピン共鳴を測定するESR測定部と、前記試料調製部及び前記ESR測定部を制御する制御部とを有することを特徴とするESR装置。

IPC (5件)：

G01N 24/10 510 ,  G01N 24/10 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 ,  G01N 1/22

FI (6件)：

G01N 24/10 510 L ,  G01N 24/10 510 A ,  G01N 1/00 101 G ,  G01N 1/00 101 M ,  G01N 1/00 101 L ,  G01N 1/22 N