特許
J-GLOBAL ID：200903028699706075
塗膜乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-246988
公開番号（公開出願番号）：特開平6-091216
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【構成】本発明の塗膜乾燥装置は、塗膜を被着した基板の温度がどの部位においても均一な適正温度となるように制御するとともに、この基板が格納されている乾燥空間の湿度を適正湿度になるように制御するようにしたものである。【効果】本発明の塗膜乾燥装置は、塗膜の乾燥ムラの発生を防止することができるようになる結果、この基板を組み込んだ製品の生産歩留向上の一助となることができる。
請求項（抜粋）：
塗膜が被着された基板を格納する保温格納部と、各別に温度制御可能な複数の加熱子が上記基板に対向して設けられ上記基板を加熱する基板加熱部と、上記基板を上記基板加熱部から離間して支持する基板支持部と、上記保温格納部の上記基板を挾んで上記基板加熱部と反対側に設けられ上記基板支持部により支持されている基板の温度分布を検出する温度分布検出部と、上記保温格納部内部の湿度を調節する湿度調節部と、上記保温格納部内部の湿度を検出する湿度検出部と、上記温度分布検出部にて検出された上記基板の温度分布および上記湿度検出部にて検出された上記保温格納部内部の湿度に基づいて上記各加熱子および上記湿度調節部を制御し上記基板の温度分布および上記保温格納部内部の湿度を所定状態にする演算制御部とを具備することを特徴とする塗膜乾燥装置。
IPC (2件)：
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