特許
J-GLOBAL ID：200903028704134239
真空搬送機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187423
公開番号（公開出願番号）：特開平6-009054
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】 従来の簡便な磁気結合式の真空搬送機構の操作性を保ったまま、装置の設置スペースを大幅に低減可能にする。【構成】 固定フランジ36と可動フランジ38は溶接ベロース40で接続され、固定フランジ36は基板交換室42に固定され、可動フランジ38は細長い円筒状の真空ケース44に固定されている。真空ケース44には磁気結合式の運動伝達機構46が設けられている。可動フランジ38に固定されたガイド棒52はガイド板48のガイド孔50に沿って移動できる。基板を搬送しないときは、真空ケース44を垂直に立てて、可動フランジ38を上方に回転させ、この可動フランジ38を固定板58で固定する。
請求項（抜粋）：
細長い筒状の真空ケースの外部と内部との間に設けた磁気結合式の運動伝達機構を用いて被処理体を真空室の内部の処理場所まで移動させる真空搬送機構において、前記真空ケースと前記真空室とを可撓性の真空連結部で結合すると共に、被処理体の搬送時の移動方向と前記真空ケースの軸線とが一致しない状態で前記真空ケースを前記真空室に固定できるようにしたことを特徴とする真空搬送機構。
IPC (4件)：
B65G 54/02
, H01L 21/68
, H02K 49/10
, H01L 21/302
