特許

J-GLOBAL ID：200903028714657663

電子分光法

発明者： 近藤 洋行 ,  神高 典明 ,  富江 敏尚 ,  清水 秀明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  工業技術院長
代理人 (2件)： 井上 義雄 (外2名) ,  井上 義雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192040
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023499
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 試料にX線、極端紫外線、紫外線などのパルス光を照射して、試料より放出される電子のエネルギースペクトルから試料の表面状態を計測する電子分光法において、 N種類(N≧2)の化学的結合状態または元素を含む試料に前記パルス光を照射して電子スペクトルを飛行時間法を用いて得る過程と、前記N種類の化学的結合状態または元素のうちの、少なくとも(N-1)種類の化学的結合状態または元素のそれぞれを単独で純粋(または高純度)に含む記試料上の各領域または別の標準試料で得られた光電子スペクトルを参照電子スペクトルとして用いて信号処理を行うことにより、前記N種類の化学的結合状態または元素のうちの、注目している化学的結合状態または元素に対応する単独電子スペクトル、存在比率、混合比率あるいは光電子数を得る過程と、を有することを特徴とする電子分光法。

請求項（抜粋）：

試料にX線、極端紫外線、紫外線などのパルス光を照射して、試料より放出される電子のエネルギースペクトルから試料の表面状態を計測する電子分光法において、N種類(N≧2)の化学的結合状態または元素を含む試料に、前記パルス光を照射して電子スペクトルを飛行時間法を用いて得る過程と、前記N種類の化学的結合状態または元素のうちの、少なくとも(N-1)種類の化学的結合状態または元素のそれぞれを単独で純粋(または高純度)に含む前記試料上の各領域または別の標準試料で得られた光電子スペクトルを参照電子スペクトルとして用いて信号処理を行うことにより、前記N種類の化学的結合状態または元素のうちの、注目している化学的結合状態または元素に対応する単独電子スペクトル、存在量、存在比率、混合比率あるいは光電子数を得る過程と、を有することを特徴とする電子分光法。

IPC (2件)：

G01N 23/227 ,  H01J 49/44

FI (2件)：

G01N 23/227 ,  H01J 49/44

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-195547
  
• 特開平2-205763
  
• 特開昭62-195547
  
• 特開平2-205763