特許

J-GLOBAL ID：200903028718519117

試料ホルダ保持機構

発明者： 真鍋 修
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005826
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215717
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 試料のY方向の振動の影響を低減化する。【構成】 X方向駆動部と、試料ホルダ先端部との間に介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対してバネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的に支持することにより試料のY方向の振動の影響を低減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

鏡筒を通して挿入され、球面軸受けで回動可能に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試料ホルダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸心と直交する方向に移動させるとともに、軸心に対して傾斜させる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して試料ホルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダを水平方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内に収納され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連結する連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾性的に圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的に支持することを特徴とする試料ホルダ保持機構。