特許
J-GLOBAL ID:200903028718584687

加熱、冷却、保温機能手段を有するキャリアボード

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 角田 仁之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-195278
公開番号(公開出願番号):特開平7-027819
出願日: 1993年07月13日
公開日(公表日): 1995年01月31日
要約:
【要約】【目的】 オートハンドラのキャリアボード上に、加熱、冷却、保温機能手段を設けた、ICテスト装置において、低、高温テストを効率良く行うことができるキャリアボード。【構成】 ローダに格納された被測定IC12を順次取出して、ICテスト装置で測定した後アンローダに格納するICオートハンドラのキャリアボード101において、該キャリアボード101に被測定IC12の加熱、冷却並びに保温機能を有する断熱箱5を設けたキャリアボード。
請求項(抜粋):
ローダに格納された被測定ICを順次取り出して該ICをICテスト装置で測定した後、アンローダに格納するようにしたICオートハンドラのキャリアボードにおいて、該キャリアボード上に、被測定ICの加熱と冷却並びに保温機能手段を有する、断熱部材の断熱体枠並びに断熱扉よりなる、断熱箱を設けた事を特徴とするキャリアボード。
IPC (3件):
G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

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