特許

J-GLOBAL ID：200903028728513001

コヒーレンス度を利用する干渉計

発明者： 佐々木 修己 ,  野口 俊
出願人/特許権者： 佐々木 修己 ,  株式会社東京精密
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328613
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190711
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 干渉計において、装置を複雑にせず、測定に要する時間もほとんど増加させることなしに、段差のある表面の測定が行えるようにする。【構成】 所定のコヒーレンス度を有する光を放出する光源1と、光源1からの光を分割して被測定物の表面と参照面で反射させた後合成して干渉させる干渉光学系と、干渉光学系の検出面で得られる干渉縞の光信号を電気信号に変換する光電変換手段7とを備える干渉計において、干渉縞から干渉光のコヒーレンス度を検出するコヒーレンス度検出手段8と、あらかじめ測定した光路長差の変化に対する干渉縞のコヒーレンス度の変化具合を記憶するコヒーレンス度変化記憶手段9と、コヒーレンス度変化記憶手段9に記憶されたコヒーレンス度の変化具合に従って、検出面の複数の検出点におけるコヒーレンス度の差に対応する検出点での光路長差を算出する光路長差算出手段10とを備える。

請求項（抜粋）：

所定のコヒーレンス度を有する光を放出する光源(1)と、該光源(1)からの光を分割して被測定物の表面と参照面で反射させた後合成して干渉させる干渉光学系と、該干渉光学系の検出面で得られる干渉縞の光信号を電気信号に変換する光電変換手段(7)とを備える干渉計において、前記干渉光学系の検出面における干渉縞から干渉光のコヒーレンス度を検出するコヒーレンス度検出手段(8)と、あらかじめ測定した、被測定物側の光路と参照面側の光路との光路長差の変化に対する干渉縞のコヒーレンス度の変化具合を記憶するコヒーレンス度変化記憶手段(9)と、該コヒーレンス度変化記憶手段(9)に記憶されたコヒーレンス度の変化具合に従って、前記コヒーレンス度検出手段(8)で検出した検出面の複数の検出点におけるコヒーレンス度の差に対応する当該検出点での光路長差を算出する光路長差算出手段(10)とを備えることを特徴とするコヒーレンス度を利用する干渉計。