特許

J-GLOBAL ID：200903028732214302

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 山崎 俊洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196537
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023891
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 複雑な機能を使うことなく干渉計切換え時の遅延を小さくする。【解決手段】 第1の方向およびこれに直交する第2の方向に移動可能なステージ108と、ステージの第1の方向の位置を計測するため、ステージの第2の方向の位置に応じて有効なものが切り換えて用いられる複数のレーザ干渉計129〜132と、レーザ干渉計からの干渉光に基づいて計測値をそれぞれ出力する複数の干渉計測長器133〜136と、有効なレーザ干渉計の切換を行なう切換手段とを備えたステージ装置において、切換手段は各干渉計測長器の出力信号(信号143〜146)に基づいて、計測可能となったレーザ干渉計を判定し、有効なレーザ干渉計を計測可能となったレーザ干渉計に切り換えるものとする。

請求項（抜粋）：

第1の方向およびこれに直交する第2の方向に移動可能なステージと、前記ステージの前記第1の方向の位置を計測するため、前記ステージの前記第2の方向の位置に応じて有効なものが切り換えて用いられる複数のレーザ干渉計と、前記レーザ干渉計からの干渉光に基づいて計測値をそれぞれ出力する複数の干渉計測長器と、前記有効なレーザ干渉計の切換を行なう切換手段とを備え、前記切換手段は、各干渉計測長器の出力信号に基づいて、前記複数のレーザ干渉計のうち計測可能となったレーザ干渉計を判定し、前記有効なレーザ干渉計を前記計測可能となったレーザ干渉計に切り換えるものであることを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (4件)：

H01L 21/30 503 B ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (6件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10