特許
J-GLOBAL ID：200903028734606275
測定用端子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-151864
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304838
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】摩耗しにくい先端構造を持つ測定用端子の製造方法提供すること。【解決手段】接触する先端部分4がダイヤモンド、アルミナ、SiC、WC、WNなどの超硬質の微粉末を含有する金属層によって構成された構造であることを特徴とする。測定用端子をボンデングパッド2に接触させると先端部分にある超硬質の微粒子群によって良好な電気的接続が得られる。超硬質の微粉末を含む金属層は強固な密着が要求されるため主に電解の共析鍍金によって形成する。【効果】超硬質の微粉末群の凹凸が測定用端子の接触面にあるので良好な接触を得る圧力は従来の約半分以下でよく、加圧による先端形状の変形は起こりにくい。超硬質の微粉末を含む金属層は摩耗しにくいため耐使用回数が大幅に向上し、長寿命である。
請求項（抜粋）：
被測定物と接触する少なくとも測定用端子の先端部分が超硬質の微粉末を含む金属層によって構成された構造であることを特徴とした測定用端子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 A
, H01L 21/66 B
