特許
J-GLOBAL ID：200903028745908567
複合荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177752
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037538
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 試料の移動に伴う2つの光学系の調整を簡単に行うことができる複合荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】 焦点合わせ制御回路22における焦点合わせ用の信号と制御コンピュータ25からの試料の基準高さにおける焦点合わせ信号に基づいて、高さ計算回路24は試料2の表面の高さ変化量を演算して求める。高さ変化量は、電子ビームのアライメント回路26と電子ビームの焦点合わせ制御回路23に供給される。アライメント回路26では、試料上のイオンビームの照射位置に電子ビームの照射位置を一致させるための偏向信号を作成する。アライメント回路26で作成された信号は、偏向電極19に供給され、電子ビームはアライメントされる。また、電子ビームの焦点合わせ制御回路23は、この高さ変化量に基づき、電子ビームの焦点合わせ信号を作成し、電子ビームの対物レンズ20に供給する。その結果、試料面に焦点合わせが行われた電子ビームが照射される。
請求項（抜粋）：
イオン源と、イオン源からのイオンビームを試料上に細く集束するためのイオンビーム集束手段と、イオンビームを偏向するためのイオンビーム偏向手段と、電子源と、電子源からの電子ビームを試料上に細く集束するための電子ビーム集束手段と、電子ビームを偏向するための電子ビーム偏向手段と、一方のビームの焦点合わせ用の集束手段の調整量に応じて、他方のビームの偏向手段を調整し、他方のビームのアライメント調整を行う制御手段とを備えた複合荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/21
, H01J 37/04
, H01J 37/147
, H01J 37/28
