特許
J-GLOBAL ID：200903028749294539
光学式膜厚モニタおよびその光軸調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135232
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332752
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 受光部とモニタガラスから来る光との光軸合わせを容易にする。【構成】 モニタガラスMを経た光Yを偏向させる採光ミラー7を、角度調節可能に設ける。採光ミラー7からの光Y1を受光部3側へ偏向させる光軸調節ミラー8を、ミラー面8b上の支点8aを中心に角度調節可能に設ける。受光部3と同じ光軸12aを有する半導体レーザ12を、光軸調節ミラー8に対向して着脱可能に設ける。半導体レーザ12と光軸調節ミラー8との間に、レーザ光の光軸位置が記入される光軸マーク部材13を着脱可能に設ける。光軸調節ミラー8に、支点8aに光Y1を一致させるための基準点が表示された光軸調整部材9を着脱可能に設ける。光軸調節ミラー8の位置を調節して基準点にレーザ光を当てた後、採光ミラー7を角度調節して基準点に光Y1を当て、光軸調節ミラー8を角度調節してその反射光Y2を光軸マーク部材13上の光軸位置に当てる。
請求項（抜粋）：
投光部を発して成膜装置内に配置されたモニタガラスを経た光を採光する採光ミラーと、この採光ミラーからの光を受けて偏向させ、かつミラー面上の1点を中心に角度調節可能な光軸調節ミラーと、この光軸調節ミラーからの光を検知する受光部と、上記光軸調節ミラーに対向して着脱可能に設けられ、上記受光部と同じ光軸を有する半導体レーザと、上記光軸調節ミラーへ向かう上記半導体レーザのレーザ光の光路上に着脱可能に設けられ、上記レーザ光の光軸位置が記入される光軸マーク部材と、上記光軸調節ミラーに着脱可能に設けられ、この光軸調節ミラーに装着された状態で、光軸調節ミラーに入射する光を上記ミラー面上の1点に一致させるための基準点が表示された光軸調整部材とを備えており、上記光軸調節ミラーは、上記ミラー面上の1点を上記半導体レーザの光軸に一致させ、上記ミラー面上の1点に上記採光ミラーからの光が照射された状態で、ミラー面を反射して上記受光部へ向かう光を上記光軸マーク部材上の光軸位置に合わせる光軸合わせが行われるように、角度調節可能に設けられていることを特徴とする光学式膜厚モニタ。
IPC (2件)：
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