特許
J-GLOBAL ID：200903028751560165
検知剤
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086947
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273410
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造工程などで使用され、排ガス中などに含まれてくる金属アルコキシドを検出するための検知剤を得る。【構成】 銅(II)塩と金塩の混合物を変色成分とし、そのまま、あるいは、多孔質担体などに担持させて検知剤とする。
請求項（抜粋）：
一般化学式、M(OR)n〔Mは金属またはこれに酸素が結合したもの、ORはアルコキシ基、nは正の整数〕で表される金属アルコキシドの検知剤であって、銅(II)塩と金塩との混合物を変色成分とする検知剤。
IPC (2件)：
G01N 31/22 122
, G01N 31/00
