平板状の被加工材の保持方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299746
公開番号（公開出願番号）：特開2001-121413
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】ウエーハを確実に保持すると同時に、より完全な表面基準加工を可能にし、高い加工精度を実現することができるウエーハの保持方法を提供する。【解決手段】ターンテーブル2の上面に多孔質板6が固定され、多孔質板6の上面にバッキングパッド7を介してウエーハ1が保持される。バッキングパッド7は、開放気孔を有し通気性及び弾性を備えた軟質の多孔質体によって構成されている。バッキングパッド7は、同様に通気性を備えた両面粘着テープで多孔質板6の表面に貼り付けられている。多孔質板6の裏面とターンテーブル2の上面との間には空洞部31が形成され、この空洞部31は減圧経路33を介して真空ポンプに接続されている。多孔質板6の周縁部6aには、通気性がない領域が形成されており、その下面側がターンテーブル2の周縁部に固定され、その上面側に、ウエーハ1の周囲を取り囲む様にガイドリング4が取り付けられている。

請求項（抜粋）：

平板状の被加工材の表面を研磨する際に、被加工材を裏面から真空吸着して保持する方法であって、吸着面が多孔質板で構成された真空チャックの表面に、開放気孔を有し通気性を備えた軟質の多孔質体からなるバッキングパッドを介して、被加工材を真空吸着することを特徴とする平板状の被加工材の保持方法。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 H , H01L 21/304 622 H

Fターム (5件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA17

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