特許
J-GLOBAL ID:200903028774746550
有機EL表示素子、その製造方法およびマスク
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
角田 衛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-306400
公開番号(公開出願番号):特開2005-078892
出願日: 2003年08月29日
公開日(公表日): 2005年03月24日
要約:
【課題】有機薄膜層を形成するためにスプレー法にて塗布した液体が広がることを防止し、抵抗体の発生、および発光むらの発生を防ぐ。【解決手段】基板1上に陽極配線、陰極接続端子、絶縁膜および隔壁を形成した後、有機薄膜層を積層する。その際、マスク開口部11を有し、マスク開口部11の周囲の基板対向面側に幅が0.05mm以上、深さが10〜40μmの段差を有するマスク9を基板1に取り付け、有機材料の溶液をスプレーガン10にて塗布することにより溶液が広がることを防止する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に、第1の電極、複数の有機薄膜、第2の電極をこの順になるように配置し、複数の有機薄膜の少なくとも一つの有機薄膜の形成の際に、マスク開口部を有するマスクを基板に向かい合うように配置し、有機薄膜の材料を面状に塗布する有機EL表示素子の製造方法であって、
開口部の周囲に段差を有するマスクを用い、前記段差のある表面が基板に向かい合うように基板に接触配置し、マスク開口部を通して有機薄膜の材料を面状にスプレーすることを特徴とする有機EL表示素子の製造方法。
IPC (5件):
H05B33/10
, B05B15/04
, B05D1/32
, B05D5/06
, H05B33/14
FI (5件):
H05B33/10
, B05B15/04 102
, B05D1/32 E
, B05D5/06 B
, H05B33/14 A
Fターム (23件):
3K007AB17
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4D073AA01
, 4D073BB03
, 4D073CA18
, 4D073DB03
, 4D073DB12
, 4D073DB19
, 4D075AA02
, 4D075AD13
, 4D075CB08
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EB22
, 4D075EB39
, 4D075EC07
引用特許:
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