特許
J-GLOBAL ID：200903028778010183
内部現象の状況監視窓の透明度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-203949
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068754
出願日： 1994年08月29日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 プラズマエッチング装置の石英製監視窓の「くもり」を処理室外から定量的に測定することにより的確にその透明度を測定し、監視窓の交換時機や洗浄時機を適正化することにより、処理室内のプラズマ発光強度が正常であるか否かを確認できるようにすることを目的とする。【構成】 この発明の透明度測定方法は、交換可能な石英製の監視窓6を備えた処理室2の内部で生じているプラズマを前記監視窓を通じて監視できるプラズマエッチング装置1において、石英製の監視窓6に対し処理室2の外部の斜め方向から所定の光線を照射し、監視窓6の内面に発生した「くもり」6aから反射した反射光をデータ処理して、その監視窓6の透明度をモニタ15に表示するようにしている。
請求項（抜粋）：
交換可能な透明部品で構成されている監視窓を備えた容器の内部で生じている現象を前記監視窓を通じて監視する装置において、前記透明部品に対し前記容器の外部の斜め方向から所定の光線を照射し、前記透明部品から反射した反射光をデータ処理して、その透明部品の透明度をモニタに表示することを特徴とする内部現象の状況監視窓の透明度測定方法。
IPC (4件)：
G01N 21/47
, C23F 4/00
, G01N 21/15
, H01L 21/3065
