特許

J-GLOBAL ID：200903028783611110

導波路型光素子、およびその製造方法

発明者： 箕輪 純一郎 ,  永田 裕俊 ,  日高 潤 ,  本田 秀紀 ,  小林 正信 ,  荻原 淳一
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-168088
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028008
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 DC-ドリフト現象が少なく、実用上十分な周波数帯域の広さおよび高さを有する導波路型電気光学素子およびその製造方法を提供する。【構成】 基板、光導波路、バッファ層、および電極を有する光学素子において、誘電体材料からなるバッファ層を形成するに際し、高エネルギーイオン種を用いない気相堆積法、例えば真空蒸着法により低緻密性第1バッファ層を形成し、次に高エネルギーイオン種を用いる気相堆積法、例えばイオンアシスト真空蒸着法又はスパッタリング法により高緻密性第2バッファ層を形成する。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する基板と、この基板表面部に形成された光導波路と、前記光導波路具有基板表面上に形成され、かつ誘電体材料からなるバッファ層と、このバッファ層上の、前記光導波路の対応する位置に配置された電極を有し、前記バッファ層が、前記光導波路具有基板上に、イオン化された高エネルギー蒸発種を用いない、第1の気相堆積法により形成され、かつ、誘電体材料からなる低緻密性第1バッファ層と、および前記第1バッファ層上に、イオン化された高エネルギー蒸発種を用いる第2の気相堆積法により形成され、かつ、誘電体材料からなる高緻密性第2バッファ層と、から構成された2層構造を有することを特徴とする、導波路型電気光学素子。

IPC (3件)：

G02F 1/035 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 J ,  G02B 6/12 M